推舟炉产品系列多样，具备连续作业能力，加热精准、温控出色。可充多种气氛，适用于石墨提纯、材料烧结等，能显著提升生产效率与产品质量。
1、产品介绍
推舟氧化炉是一种结合连续推舟输送系统与高温氧化工艺的工业设备，通过机械推舟装置将承载物料的舟皿（如石英舟）依次送入氧化反应区，完成金属/非金属材料的氧化处理。其核心功能包括：
连续式氧化：实现物料批量化、自动化连续处理，适用于半导体晶圆氧化、粉末冶金材料表面改性等场景；
精准气氛控制：通过氢气、氮气或空气调节炉内氧化环境，确保反应均匀性；
高温稳定性：氧化温度范围通常为800–1280℃，控温精度可达±0.5℃，适配纳米级薄膜生长或大尺寸工件处理。
2、产品特点
自动化程度高
节能性好
支持多气氛
安全性高
